提拉法生长高质量氟化钙晶体的研究

【类型】会议论文

【会议录名称】第十七届全国晶体生长与材料学术会议摘要集

【作者】孟春坡 程龙 刘景峰 范松如 

【关键词】 氟化钙晶体 工艺优化 提拉法

【会议名称】第十七届全国晶体生长与材料学术会议(CCCG-17)

【日期】2015

【作者联系方式】北京奇峰蓝达光学科技有限公司；四川欧瑞特光电技术科技有限公司

【摘要】本文中报道了采用电阻加热提拉法（CZ）生长出光学均匀性和质量一致性好的氟化钙单晶。将高纯（5N）的CaF2颗粒料置于石墨坩埚内,抽真空度至10-4Pa,通入一定量的高纯CF4气体,加热使其熔化,恒温一段时间,然后以较快速率降温,将结晶后的晶块取出,去除表面杂质,然后将块状晶料用于晶体生长。将处理后的晶体料装入石墨坩埚并抽真空,真空度应达到10-4Pa以上,通入一定量的高纯Ar气体

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