指条厚度对质量型SAW传感器性能影响的理论分析

【类型】会议论文

【会议录名称】2016年全国声学学术会议论文集

【作者】郝文昌 刘久玲 何世堂 

【关键词】 耦合模 指条厚度 传感器性能 有限元

【会议名称】2016年全国声学学术会议

【日期】2016

【作者联系方式】中国科学院声学研究所

【摘要】本文针对检测器金属指条厚度对声表面波传感器性能的影响进行了理论分析。利用有限元方法提取了不同指条厚度下声表面波检测器负载质量的耦合模参量,结合耦合模模型和P矩阵级联技术,仿真了不同指条厚度下检测器对相同负载的频率响应,对比得到了传感器性能最优化时检测器指条的厚度参量。理论优化了声表面波传感器性能,为进一步实验研究奠定了基础。

【全文挂接】 获取全文