液态铜上快速化学气相沉积高质量石墨烯

【类型】学位论文

【作者】郭旺 

【关键词】 冷壁垂直式CVD系统 石墨烯 液态铜 背栅石墨烯场效应管

【学位授予单位】北京工业大学

【学位年度】2016

【学位名称】硕士

【分类号】TQ127.11

【导师姓名】徐晨

【摘要】石墨烯作为一种新型的二维单层碳原子纳米材料,自2004年以机械剥离的方法制备出来后,以其独特的各种电学、光学、热学等性能引起了广泛的研究热潮。目前石墨烯的制备方法多种多样,主要有机械剥离法、化学气相沉积法、SiC外延生长法、化学还原法等,其中化学气相沉积法是一种可控制备大面积高质量石墨烯的有效方法,而且该方法便捷易操作,并能与下一步石墨烯的转移和应用相结合,目前已成为石墨烯生长领域的主流方法。但利用传统化学气相沉积法来制备石墨烯的时间从升温、生长到降温大多都需要几个小时,限制了石墨烯的进一步应用,因此寻找

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