基于条纹反射的太阳能电池硅晶片表面质量检测方法研究

【类型】学位论文

【作者】李明阳 

【关键词】 系统多义性 太阳能电池 系统标定 三维面形测量

【学位授予单位】电子科技大学

【学位年度】2016

【学位名称】硕士

【分类号】TM914.4

【导师姓名】岳慧敏

【摘要】基于条纹反射的面结构光三维面形测量技术根据由待测镜面物体反射的变形条纹来检测物体表面的梯度分布,根据此测量梯度重建出物体三维形貌,具有非接触、高精度、高灵敏度和结构简单等优点,在对眼镜、汽车车体喷漆表面以及抛光模具等镜面以及类镜面物体的面形检测方面具有很好的应用前景。本文对基于条纹反射的类平面镜面太阳能电池硅晶片表面质量检测方法进行了研究,分析研究了基于质量导向的相位展开方法。然后对条纹反射系统的标定进行了研究,应用基于二维平面标定靶标定技术完成对条纹反射测量系统的标定工作。最后针对太阳能电池硅晶片表面镜

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