三维叠层微电极成形质量控制及台阶效应的消减

【类型】学位论文

【作者】赵振涛 

【关键词】 三维叠层微电极 微细电火花加工 接缝放电痕 台阶效应

【学位授予单位】深圳大学

【学位年度】2016

【学位名称】硕士

【分类号】TG661

【导师姓名】伍晓宇

【摘要】近年来,随着微电子、精密机械、生物医疗、航空航天等行业的迅猛发展,工业领域对微型零件的需求越来越大。微型零件的结构尺寸微小,重量较轻,因此很难用传统的机加工方法制造成形。微细电火花加工是微细加工技术的一种,该技术可加工各种超硬、脆性材料,且在加工过程中宏观切削力很小。因此,微细电火花加工非常适合微型零件的制备。在微细电火花加工中,通过微柱状电极对工件材料进行逐层扫描放电加工可获得精度较高的微结构,然而该方法存在加工效率低、电极损耗大且进给运动控制复杂等缺点。而将三维叠层微电极应用于微细电火花加工可有效解决

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