气体质量流量控制器故障诊断装置设计

【类型】学位论文

【作者】乔岳 

【关键词】 故障诊断 热式气体质量流量控制器 嵌入式

【学位授予单位】北京工业大学

【学位年度】2016

【学位名称】硕士

【分类号】TH814.6

【导师姓名】陈双叶

【摘要】热式气体质量流量控制器是一种用于对气体的质量流量实现精确控制和测量的仪表设备。它们在集成电路、材料、石化、环保、医疗、分析仪器等多种领域和行业的科研和生产中发挥着不可替代的作用。该种仪表的故障判断检测设备在行业中依然是空白。随着时代的进步,电子计算机产业的普及,嵌入式设备在民用以及工业领域的应用越来越普遍。基于嵌入式的各类故障诊断设备和故障检测系统也在诸多行业有着越来越成熟的应用。作者以多年仪器仪表行业工作经验为基础,总结出热式气体质量流量控制器的各类故障类型,分析了热式气体质量流量控制器原理和故障机理,

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